半導體電子車間凈化工程

半導體電子車間凈化工程特點

半導體電子車間凈化工程的工程特點有：潔凈度等級要求高,風量、溫度、濕度、壓差、設備排風按需受控,照度、潔凈室截面風速按設計或規范受控，另外該類潔凈室對靜電要求極其嚴格。其中對濕度的要求尤甚。因為過于干燥的廠房內極易產生靜電，造成CMOS集成損壞。一般來說，電子廠房的溫度應控制在22℃左右，相對濕度控制在50-60%之間（特殊潔凈車間有相關溫濕度規定）。這時可有效地消除靜電，并使人也感覺舒適。

半導體電子車間凈化工程施工要求

1、電子制造廠萬級潔凈室內的噪聲級（空態）：不應大于65dB(A)

2、電子制造廠潔凈室垂直流潔凈室滿布比不應小于60%，水平單向流潔凈室不應小于40%，否則就是局部單向流了。

3、電子制造廠潔凈室與室外的靜壓差不應小于10Pa，不同空氣潔凈度的潔凈區與非潔凈區之間的靜壓差不應小于5Pa

4、電子制造行業萬級潔凈室內的新鮮空氣量應取下列二項中的最大值：

5、補償室內排風量和保持室內正壓值所需的新鮮空氣量之和。

6、保證供給無塵車間潔凈室內每人每小時的新鮮空氣量不小于40m3。

7、電子制造行業潔凈室凈化空調系統加熱器，應設置新風，超溫斷電保護，若采用點加濕時應設置無水保護，寒冷地區，新風系統應設置防凍保護措施。

半導體電子車間凈化工程維護要求

1、內部要保持大于一大氣壓的環境，以確保粉塵只出不進。所以需要大型鼓風機，將經濾網的空氣源源不絕地打入潔凈室中。

2、為保持溫度與濕度的恒定，大型空調設備須搭配于前述之鼓風加壓系統中。換言之，鼓風機加壓多久，冷氣空調也開多久。

3、所有氣流方向均由上往下為主，盡量減少突兀之室內空間設計或機臺擺放調配，使粉塵在潔凈室內回旋停滯的機會與時間減至最低程度。

4、所有建材均以不易產生靜電吸附的材質為主。

5、所有人事物進出，都必須經過空氣吹浴 (air shower) 的程序，將表面粉塵先行去除。

6、人體及衣物的毛屑是一項主要粉塵來源，為此務必嚴格要求進出使用人員穿戴無塵衣，除了眼睛部位外，均需與外界隔絕接觸。

半導體電子車間凈化工程施工案例

▲半導體電子車間凈化工程施工案例

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確定需求后，24小時內設計團隊前往工地勘察現場，測量，記錄車間數據，為設計做基礎數據累計。

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與項目負責人面對面溝通，確定項目用途，設備數量，存在問題等信息。出局具體的施工方案。

3、免費提供設計

確定現場尺寸，用途，設備信息后，由具有十五年專業工程設計人員，進行車間內部布局設計和規劃。免費提供凈化設計。

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施工結束后，可提供一次由康瑞鑫專業檢測團隊提供的免費檢測服務，運用專業檢驗檢測設備，綜合檢測空氣質量，菌落含量，溫濕度情況等檢驗檢測項目。確保第三方檢測驗收一次性通過。

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